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Nichtlineares Verhalten von kapazitiv gekoppelten Zweifrequenzentladungen

2007 - Dennis Ziegler, Thomas Mussenbrock, Ralf Peter Brinkmann

DPG Früh­jahrs­ta­gung, Düsseldorf, Ger­ma­ny, 19-23 March

Modellbasiertes Regelungskonzept für kapazitiv gekoppelte Zweifrequenzentladungen

2007 - Dennis Ziegler, Thomas Mussenbrock, Ralf Peter Brinkmann

13. Fach­ta­gung Plas­ma­tech­no­lo­gie (PT 13), Bo­chum, Ger­ma­ny, 05-07 March
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