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Kinetische Simulation von Modenübergängen und Hysterese-Effekten in kapazitiven Hochfrequenzentladungen

2014 - Sebastian Wilczek, Jan Trieschmann, Julian Schulze, Edmund Schüngel, Ralf Peter Brinkmann, Zoltan Donko, Aranka Derzsi, Ihor Korolov, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2014, Berlin, Ger­ma­ny, 17 - 21 March

Untersuchung des Einflusses von Verschiebungs- und Leitungsstromdichte auf Resonanzeffekte in Hochfrequenzplasmen

2014 - Sebastian Wilczek, Jan Trieschmann, Julian Schulze, Edmund Schüngel, Ralf Peter Brinkmann, Zoltan Donko, Aranka Derzsi, Ihor Korolov, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2014, Berlin, Ger­ma­ny, 17 - 21 March

Kinetische Simulationen kapazitiv gekoppelter Mehrfrequenz- Sputterquellen

2013 - Denis Eremin, Torben Hemke, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2013, Jena, Ger­ma­ny, 25 Fe­bru­ary - 01 March
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