Publications

Kinetische Simulationen kapazitiv gekoppelter Mehrfrequenz- Sputterquellen

2013 - Denis Eremin, Torben Hemke, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2013, Jena, Ger­ma­ny, 25 Fe­bru­ary - 01 March
Page: