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Numerische Simulation des Bounce-Resonanz-Effekts in kapazitiven Hochfrequenzplasmen

2012 - Sebastian Wilczek, Jan Trieschmann, Denis Eremin, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2012, Stutt­gart, Ger­ma­ny, March 12-16

Numerische Simulation von DC-Magnetronplasmen für Sputterprozesse

2012 - Sven Dirkmann, Daniel Szeremley, Torben Hemke, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2012, Stutt­gart, Ger­ma­ny, 12-16 March

Numerische Simulation von kapazitiven Mehrfrequenzentladungen für Sputteranwendungen

2012 - Daniel Szeremley, Stefan Bienholz, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2012, Stuttgart, Ger­ma­ny, 12-16 March
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