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Numerische Simulationen zum Einfluss der Reaktorgeometrie auf Ionenenergie und Ionenbombardment in kapazitiv gekoppelten Plasmen

2011 - Jan Trieschmann, Dennis Ziegler, Ralf Peter Brinkmann, Dirk Hegemann, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2011, Kiel, Germany, 28-31 March
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