Publications

Gyrokinetic Simulation for the Advanced Plasma Source

2012 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann

65th Annual Gaseous Electronics Conference October 22–26, 2012; Austin, Texas (poster presentation) [abstract]

On plasma ion beam formation in the Advanced Plasma Source

2012 - Jens Harhausen, Ralf Peter Brinkmann, Rüdiger Foest, Mario Hannemann, Andreas Ohl, Benjamin Schröder

Plasma Sources Sci. Technol. 21 (2012) 035012 [DOI]

Charakterisierung von Plasmaprozessen zur ionengestützten Abscheidung (PIAD) von optischen Schichten

2012 - Jens Harhausen, Ralf Peter Brinkmann, Rüdiger Foest, Andreas Ohl, Benjamin Schröder, Hartmut Steffen

DPG Frühjahrstagung, 12.-16.3. 2012, Stuttgart (talk) [Abstract]

Ein nicht-lokales driftkinetisches Elektronenmodell für eine magnetisch unterstützte DC-Entladung

2012 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann

DPG Frühjahrstagung der Sektion AMOP, 12.-16. März 2012, Stuttgart (poster presentation) [Abstract]
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