Publications

Theoretische Basis von Plasma- und Schichtmodellierung in optischen Beschichtungsprozessen

2013 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann, Marcus Turowski, Thomas Frauenheim, Thomas Köhler, Marc Landmann, Jens Harhausen, Rüdiger Foest, Andreas Ohl, Norbert Kaiser, Olaf Stenzel, Steffen Wilbrandt

DPG-Frühjahrstagung, 25.02.-01.03.2013, Jena (talk) [DPG-Verhandlungen]

Diagnostik und Steuerung von PIAD-Prozessen

2013 - Jens Harhausen, Rüdiger Foest, Andreas Ohl, Dieter Gäbler, Norbert Kaiser, Olaf Stenzel, Steffen Wilbrandt, Ralf Peter Brinkmann, Benjamin Schröder, Robert Storch, Tim Styrnoll

DPG Frühjahrstagung, 25.02.-01.03 2013, Friedrich-Schiller-Universität, Jena (talk) [DPG-Verhandlungen]

Gyrokinetic Simulation for the Advanced Plasma Source

2012 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann

65th Annual Gaseous Electronics Conference October 22–26, 2012; Austin, Texas (poster presentation) [abstract]

On plasma ion beam formation in the Advanced Plasma Source

2012 - Jens Harhausen, Ralf Peter Brinkmann, Rüdiger Foest, Mario Hannemann, Andreas Ohl, Benjamin Schröder

Plasma Sources Sci. Technol. 21 (2012) 035012 [DOI]

Charakterisierung von Plasmaprozessen zur ionengestützten Abscheidung (PIAD) von optischen Schichten

2012 - Jens Harhausen, Ralf Peter Brinkmann, Rüdiger Foest, Andreas Ohl, Benjamin Schröder, Hartmut Steffen

DPG Frühjahrstagung, 12.-16.3. 2012, Stuttgart (talk) [Abstract]

Ein nicht-lokales driftkinetisches Elektronenmodell für eine magnetisch unterstützte DC-Entladung

2012 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann

DPG Frühjahrstagung der Sektion AMOP, 12.-16. März 2012, Stuttgart (poster presentation) [Abstract]

Towards a kinetic model for the advanced plasma source

2011 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann

WELTPP-14, Kerkrade (Niederlande), 1.-2. Dezember 2011 (talk)

Modelling and Simulation of the Advanced Plasma Source

2011 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann, Jens Harhausen, Andreas Ohl

Journal of Applied Physics 110, 043305 (2011) [online]

Modeling of the Advanced Plasma Source

2010 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann, Jens Harhausen, Andreas Ohl

63rd Gaseous Electronics Conference (GEC), October 4–8, 2010, Paris, France (poster presentation) [GEC abstract online] [PluTO homepage] [abstract as pdf]
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