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Theoretische Basis von Plasma- und Schichtmodellierung in optischen Beschichtungsprozessen

2013 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann, Marcus Turowski, Thomas Frauenheim, Thomas Köhler, Marc Landmann, Jens Harhausen, Rüdiger Foest, Andreas Ohl, Norbert Kaiser, Olaf Stenzel, Steffen Wilbrandt

DPG-Frühjahrstagung, 25.02.-01.03.2013, Jena (talk) [DPG-Verhandlungen]

Diagnostik und Steuerung von PIAD-Prozessen

2013 - Jens Harhausen, Rüdiger Foest, Andreas Ohl, Dieter Gäbler, Norbert Kaiser, Olaf Stenzel, Steffen Wilbrandt, Ralf Peter Brinkmann, Benjamin Schröder, Robert Storch, Tim Styrnoll

DPG Frühjahrstagung, 25.02.-01.03 2013, Friedrich-Schiller-Universität, Jena (talk) [DPG-Verhandlungen]

Charakterisierung von Plasmaprozessen zur ionengestützten Abscheidung (PIAD) von optischen Schichten

2012 - Jens Harhausen, Ralf Peter Brinkmann, Rüdiger Foest, Andreas Ohl, Benjamin Schröder, Hartmut Steffen

DPG Frühjahrstagung, 12.-16.3. 2012, Stuttgart (talk) [Abstract]

Calculation of energy distribution functions of energetic particles for plasma ion-aided deposition processes

2011 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann

30th ICPIG, Belfast (UK), 28. August - 2. September 2011 (poster presentation) [extended abstract]

Modelling and Simulation of the Advanced Plasma Source

2011 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann, Jens Harhausen, Andreas Ohl

Journal of Applied Physics 110, 043305 (2011) [online]
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