Publications

Charakterisierung von Plasmaprozessen zur ionengestützten Abscheidung (PIAD) von optischen Schichten

2012 - Jens Harhausen, Ralf Peter Brinkmann, Rüdiger Foest, Andreas Ohl, Benjamin Schröder, Hartmut Steffen

DPG Frühjahrstagung, 12.-16.3. 2012, Stuttgart (talk) [Abstract]

Ein nicht-lokales driftkinetisches Elektronenmodell für eine magnetisch unterstützte DC-Entladung

2012 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann

DPG Frühjahrstagung der Sektion AMOP, 12.-16. März 2012, Stuttgart (poster presentation) [Abstract]

Modelling and Simulation of the Advanced Plasma Source

2011 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann, Jens Harhausen, Andreas Ohl

Journal of Applied Physics 110, 043305 (2011) [online]

Plasma modeling for optical coating devices

2010 - Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann

DPG Frühjahrstagung der Sektion AMOP, March 8-12, 2010, Hannover, Germany (talk)
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