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Electron heating in asymmetric capacitively coupled rf discharges at low pressures

2008 - Julian Schulze, Brian Heil, Dirk Luggenhölscher, Thomas Mussenbrock, Ralf Peter Brinkmann, Uwe Czarnetzki

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2008, Darm­stadt, Ger­ma­ny, 10-14 March
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