Kinetische Modellierung und Analyse der planaren Multipol-Resonanz-Sonde

Michael Friedrichs, Sebastian Wilczek, Ralf Peter Brinkmann

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2015, Bo­chum, Ger­ma­ny, 3 March


Abstract

Das kontinuierliche Monitoring von Plasma-Parametern, z.B. der Elektronendichte und der Elektronentemperatur, bietet vielversprechende Ansätze zur Überwachung und Regelung von industriellen Plasmaprozessen. Für diesen Zweck wurde mit der Multipol-Resonanz-Sonde(MRP) im Rahmen eines BMBF Projekts (PluTO) eine Diagnostik entwickelt. Eine besonders attraktive Ausführung stellt die sogenannte planare MRP dar, die aufgrund ihrer kompakten Bauweise in der Reaktorwand befestigt werden kann und somit keine lokale Störung im Plasma bewirkt. Dieser Beitrag präsentiert erste Ansätze zur Modellierung der MRP mit den Methoden der kinetischen Theorie, die im Gegensatz zu fluiddynamischen Modellen, nicht nur eine Messung der Elektronendichte, sondern auch der Elektronentemperatur erlauben sollte.

Tags: Modelling, MRP