Numerische Simulation von DC-Magnetronplasmen für Sputterprozesse

Sven Dirkmann, Daniel Szeremley, Torben Hemke, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2012, Stutt­gart, Ger­ma­ny, 12-16 March

Tags: DC Magnetron, Numerische Simulation