Theoretische Basis von Plasma- und Schichtmodellierung in optischen Beschichtungsprozessen

Benjamin Schröder, Ralf Peter Brinkmann, Marcus Turowski, Thomas Frauenheim, Thomas Köhler, Marc Landmann, Jens Harhausen, Rüdiger Foest, Andreas Ohl, Norbert Kaiser, Olaf Stenzel, Steffen Wilbrandt

DPG-Frühjahrstagung, 25.02.-01.03.2013, Jena (talk)

[DPG-Verhandlungen]

Tags: APS, Gyrokinetik, Modellierung, PIAD, plasma, Schichtwachstum