Electron heating in asymmetric capacitively coupled rf discharges at low pressures

Julian Schulze, Brian Heil, Dirk Luggenhölscher, Thomas Mussenbrock, Ralf Peter Brinkmann, Uwe Czarnetzki

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2008, Darm­stadt, Ger­ma­ny, 10-14 March

Tags: asymmtric, electron heating