Modellbasiertes Regelungskonzept für kapazitiv gekoppelte Zweifrequenzentladungen

Dennis Ziegler, Thomas Mussenbrock, Ralf Peter Brinkmann

13. Fach­ta­gung Plas­ma­tech­no­lo­gie (PT 13), Bo­chum, Ger­ma­ny, 05-07 March

Tags: modellbasiertes Regelungskonzept, Zweifrequenzentladung