Modellierung der nichtlinearen Elektronenresonanzheizung in asymmetrischen kapazitiv gekoppelten Hochfrequenzentladungen

Max Engelhardt, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung, Han­no­ver, Ger­ma­ny 08-12 March

Tags: Elektronenresonanzheizung, Modellierung