Nichtlineare Resonanzeffekte auf die Heizung von kapazitiv gekoppelten Zweifrequenzentladungen

Thomas Mussenbrock, Dennis Ziegler, Ralf Peter Brinkmann, Michael A. Liebermann, Allan J. Lichtenberg

DPG Früh­jahrs­ta­gung, Darm­stadt, Ger­ma­ny, 10-14 March, oral contribution

Tags: Heizung, nichtlineare Resonanzeffekte, Zweifrequenzentladungen