Numerische Simulationen zum Einfluss der Reaktorgeometrie auf Ionenenergie und Ionenbombardment in kapazitiv gekoppelten Plasmen

Jan Trieschmann, Dennis Ziegler, Ralf Peter Brinkmann, Dirk Hegemann, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2011, Kiel, Germany, 28-31 March

Tags: Ionenenergie und Ionenbombardment, kapazitiv gekoppelten Plasmen, Numerische Simulationen