Nutzung von Plasmadiagnostik zur Regelung eines reaktiven Sputterprozesses

Christian Wölfel, Moritz Oberberg, Dennis Krüger, Jan Lunze, Ralf Peter Brinkmann, Peter Awakowicz

23. Dresdner Vakuumtechnische Kolloquium (NDVaK) Beschichtung und Modifizierung von Kunststoffoberflächen, Dresden, 2015

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