Ein räumlich aufgelöstes Modell der Resonanzeffekte in Niederdruck-CCPs

Schabnam Naggary, Dennis Ziegler, Thomas Mussenbrock, Ralf Peter Brinkmann

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2011, Kiel, Germany, 28-31 March


Abstract

Durch die räumliche Ausdehnung des Plasmas, hat der HF-Strom eine komplexe Multimodenstruktur. Diese bedingt starke selbsterregte Elektronenresonanzeffekte. Zur besseren Auflösung der komplexen Strukturen des HF-Stroms wird ein Multimodenmodell für das Plasmabulk entwickelt. Das Multimodenmodell basiert auf einem bereits entwickelten globalem Modell, welches in der Lage ist, eine sehr gute Approximation für die Grundmode des HF-Stroms zu liefern.

Tags: räumlich aufgelöstes Modell, Resonanzeffekte in Niederdruck-CCPs