Resonanzheizung von kapazitiv gekoppelten asymmetrischen Zweifrequenzentladungen

Dennis Ziegler, Thomas Mussenbrock, Ralf Peter Brinkmann

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2009, Greifs­wald, Ger­ma­ny, 30-02 March, oral cont­ri­bu­ti­on

Tags: assymetrische Zweifrequenzentladungen, resonanzheizung