Simulation elektromagnetischer Effekte in kapazitiv gekoppelten Plasmen

Denis Eremin, Thomas Mussenbrock, Ralf Peter Brinkmann

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2011,Kiel, Germany, 28-31 March, oral contribution

Tags: kapazitiv gekoppelten Plasmen, Simulation elektromagnetischer Effekte