Numerische Simulation eines Mikroplasma-Array bei Atmosphärendruck

Alexander Wollny, Markus Gebhardt, Torben Hemke, Thomas Mussenbrock, Ralf Peter Brinkmann

DPG Spring Meeting 2010, Hannover, Deutschland, 8-12 März


Abstract

Eine neue Atmosphärendruck-Plasma-Quelle stellen Mikroplasma-Arrays dar, welche von der Gruppe von J.G. Eden an der Universität von Illinois entwickelt wurden.

Bei diesen Entladungen handelt es sich um eine Matrix von dielektrisch behinderten Hohlkathodenentladungen mit Abmessungen von einigen 10 µm. Dabei bildet ein Siliziumsubstrat mit pyramidenförmigen Vertiefungen ein Elektrode. Auf diese ist dielektrische getrennt eine zweite Elektrode in Form eines Gitters aufgebracht. Diese Entladung wird mit einer Frequenz im Bereich von 10-100kHz in einer Argon-Atmosphäre betrieben.

Einen Einblick in die Wechselwirkungen den Mikroplasmen untereinander soll mit Simulationen gewonnen werden und mit experimentell gewonnenen Daten verglichen werden.

Diese Arbeit wird von der DFG im Rahmen der Forschergruppe FOR1123 unterstützt.

Tags: atmospheric pressure, atmospheric pressure plasma, nonpdpsim, plasma, Plasma-Plasma Interaction, Simulation