Veranstaltung: Nanostrukturen für Mikrosysteme

Nummer:
141387
Lehrform:
Vorlesung und Übungen
Medienform:
Folien, Handouts, Tafelanschrieb
Verantwortlicher:
Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann
Dozenten:
Dr.-Ing. Claudia Bock (ETIT), Dr.-Ing. Ulrich Wieser (ETIT)
Sprache:
Deutsch
SWS:
3
LP:
4
Angeboten im:
Sommersemester

Termine im Sommersemester

  • Beginn: Donnerstag den 04.04.2019
  • Vorlesung Donnerstags: ab 08:30 bis 10.00 Uhr im ID 04/401
  • Übung Donnerstags: ab 10:15 bis 11.00 Uhr im ID 04/401

Prüfung

Termin nach Absprache mit dem Dozenten.

Prüfungsform:mündlich
Prüfungsanmeldung:FlexNow
Dauer:30min

Ziele

Nanostrukturen mit Abmessungen von typisch <300 nm zeichnen sich durch besondere Eigenschaften aus und werden in vieler Hinsicht in Bezug auf ihren Nutzen diskutiert. Die Studierenden lernen diese Eigenschaften kennen und können ihre Wirkung im Mikrosystem einschätzen sowie wichtige Effekte beschreiben und anwenden. Dabei wird sowohl auf etablierte konventionelle Halbleiter wie beispielsweise Si, GaAs/AlGaAs wie auch auf neue Halbleitermaterialien wie die Übergangsmetall-Dichalkogenide eingegangen.

Neben den Eigenschaften werden auch Verfahren zur Herstellung und Charakterisierung von Nanostrukturen vorgestellt, so dass die Studierenden auch einschätzen können, ob und wie Nanostrukturen integriert werden können.

Inhalt

Von 3D-Nanostrukturen zu 0D-Strukturen:

  • Grundlagen nanoskaliger Systeme, Kurzkanaleffekte
  • Charakterisierungsverfahren nanoskaliger Systeme
  • Heterostrukturen, Quantenhalleffekt
  • Leitwertquantisierung, Trägheitsballistik
  • Carbon Nanotubes, Nanoribbons
  • Einzelelektroneneffekte, SET, Coulomb Blockade

Voraussetzungen

Keine

Empfohlene Vorkenntnisse

Bachelor der Elektrotechnik

Sonstiges

Das Pass­wort für das von uns zur Ver­fü­gung ge­stell­te Lehr­ma­te­ri­al (pdf-Da­tei­en) wird in der Vor­le­sung be­kannt­ge­ge­ben!