course: Master Project Nanoscale Pattering

number:
148233
teaching methods:
project
responsible person:
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Kunze
lecturer:
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Kunze (ETIT)
language:
german
HWS:
3
CP:
3
offered in:

Exam

All statements pertaining to examination modalities (for the summer/winter term of 2020) are given with reservations. Changes due to new requirements from the university will be announced as soon as possible.
Form of exam:project
Registration for exam:None
continual assessment

goals

Die Studierenden haben praktisches Verständnis lithografischer Techniken, die bei der Herstellung nanoskaliger Halbleiterbauelemente Anwendung finden.

content

Im Projekt wird sowohl die lithografische Strukturierung von Halbleitern im Mikro- und Nanometerbereich, als auch die topografische Charakterisierung dieser Strukturen vermittelt. Praktische Fähigkeiten werden insbesondere in den drei Abschnitten (A) optische Lithografie, (B) Nanolithografie mit dem Rasterkraftmikroskop und (C) Elektronenstrahllithografie erarbeitet.

requirements

keine

recommended knowledge

  • Grundlagen Halbleitertechnologie
  • Vorlesung Nanoelektronik
  • Schwerpunkt Mikro- und Nanoelektronik