Nummer Name Dozent
1 141373 Plasma Chemistry Kemaneci, Efe
2 160505 Plasma Diagnostics Schultz-von der Gathen, Volker
3 141281 Plasmamedicine Gibson, Andrew R.
4 141363 Plasma Sheaths Brinkmann, Ralf Peter
5 141290 Plasma Spectroscopy Awakowicz, Peter
6 141283 Plasma Technology 1 Awakowicz, Peter
7 141284 Plasma Technology 2 Awakowicz, Peter
8 141364 Plasma Technology for Semiconductor Manufacturing Klick, Michael
9 139950 Plasmonics Derrien, Thibault
10 137270 Prozessführung und Optimalsteuerung Mönnigmann, Martin

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